EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。
产品性能介绍:
◆ 结构紧凑
EZ4外型尺寸为:210(W)*250(D)*200(H),特别适合放于手套箱内操作。可旋涂4寸圆晶的底物。
◆ 简单易用
文本显示屏,界面简单易用,清晰的功能按键,方便灵活操作。
◆ 程控操作
可提供单步或多步编程旋涂工艺运行,最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序。
◆ 性能稳定
工业级直流马达,单片机控制,转轴旋转稳定,重复性好。
◆ 设计新颖
全铝合金外壳,阳极氧化铝耐腐蚀机身。全PP注塑耐腐蚀易清洁旋转腔,PC耐腐蚀透明盖。
产品参数说明:
●PP耐腐蚀、易清洁注塑内腔,HDPE耐腐蚀真空吸盘l
●阳极氧化铝耐腐蚀机身,美观耐用l
●耐溶剂性PC透明盖子,恒定扭矩定位功能l
●文本显示器,按键控制l
●75W直流无刷电机,单片机控制l
●可处理碎片(小于1cm)至4英寸圆晶底物l
●转速可控范围:100-9999RPM,转速分辨率:1RPMl
●加速度可控范围:100-9999RPM/Sl
●单步步长:3000s,时间分辨率:1s
●可进行多步程序运行,最多编辑运行5步程序l
●宽输入电压适用:AC100-230V输入
产品外形尺寸:外形尺寸:210 (W) * 265(D) *213(H)