IC5000可控温匀胶机
可控温匀胶机----边旋涂,边加热,转盘可控温,发明的加热控温型匀胶机
产品特点:
●载物盘加热型匀胶机,可实现边加热边匀胶处理
●HDPE高分子内腔,PC透明盖,钣金烤漆外壳
●可靠的隔热设计,确保电机及元器件安全
●24V加热部件,确保过程中安全可靠
●可嵌入式安装设计,降低高度放置在手套箱内
产品参数:
●转盘加热控温范围:室温-150℃
●温度分辨率:0.1℃
●控温精度:<±0.5℃(稳定后控温精度)
●转盘温度均匀性:≤±2%
●转速范围:100-5000RPM
●加速度范围:100-5000RPM/S
●转速分辨率:1RPM
●单步旋涂时间:3000S
●时间分辨率:1S
●可编程:100组100步
●可升级一路自动点胶功能
●标配可调卡爪载物盘(10-30方片或圆片可调),其它需定制
●为避免基片全接触加热盘与抽真空干涉,标配不带抽真空
●外型尺寸:280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)