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上海超硅半导体股份有限公司(以下简称“上海超硅”或“公司”)于2008年成立于上海松江，多年潜心于集成电路用200mm/300mm大尺寸单晶硅晶体生长系统、人工晶体、半导体材料等相关领域产品的研发、生产与销售，主要产品包括集成电路用200mm、300mm大尺寸抛光硅片、外延片、氩气退火片等。项目生产工艺设备均置于洁净厂房内，且噪声级较小。噪声源主要是冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵，以及应急发电机组等辅助动力设备。
生产区排风有一般废气(废热)排风和工艺排风。工艺排风分为酸性废气、碱性废气处理装置布设在硅片生产厂房屋顶，净化后的工艺废气经排气筒排放。在工程设计上除采用风机减振台基础，通风机的进风和出风口均加设消声器，接头处采用柔性软接头；门窗均采用隔声门、隔声窗。对于设置在屋顶的风机，加设风机隔声罩，以降低风机噪声对周围环境的影响。
01 控制噪声源
控制噪声源是防治噪声的根本措施，具体措施包括：
采用较低噪声设备：1. 工艺排气设备采用较低噪声的设备，保证风机1.5m范围外噪声低于85dB；2. 洗涤塔循环水泵采用较低噪声的设备，保证水泵1.5m范围外噪声低于70dB。
隔离噪声源：对于高噪声源——电动机采取隔离措施，在电动机上设置防护罩，减少噪声传播。
02 控制噪声传播
通过以下措施控制噪声传播：
使用消声材料：在洗涤塔机房的墙壁和房顶使用消声材料，吸收或反射声能。
设置隔振或减振装置：在风机、循环泵、洗涤塔本体和风管的基础与地面、墙壁联接处设置隔振或减振装置，防止通过固体传播的噪声。
03 个体防护
对于噪声强度相对比较高的生产场所，佩戴个人防护用品是有效措施：
耳塞：由橡胶或软塑料制成，隔声效果可达25——30分贝。
耳罩：隔声效果优于耳塞，效果可达30——40分贝。
04 治理效果分析
该项目噪声控制措施的关键在于将强噪声源—应急柴油发电机、空压机和真空泵等均布置在密闭的厂房内，采取了较严密的降噪措施；对于设置在屋顶的冷却塔、通风机等，均采取了相应的减振、消声措施，抓住了项目降噪的主体，又未忽视局部，所采取的措施是有效、合理可行的。
05相关证明文件
每年按照工作场所职业卫生的要求对废气洗涤塔和风机区域进行噪声检测，均合格。
供稿：松江区生态环境局
原标题：上海第一批工业噪声污染防治典型案例|上海超硅半导体股份有限公司废气洗涤塔和风机降噪案例
