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上海隽思实验仪器有限公司
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一．SECS/GEM通讯HMDS镀膜机概述SECS/GEM通讯HMDS镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，改变了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性
一．SECS/GEM通讯HMDS镀膜机概述
SECS / GEM通讯HMDS镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，改变了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。
SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。SECS / GEM通讯HMDS镀膜机在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。
二．SECS/GEM通讯HMDS镀膜机特点
Ø 智能化： GEM设备可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议（使用SECS-I标准，SEMI E4）与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM的通用SECS-II消息进行监控和控制。 还有许多额外的SEMI标准和工厂规范参考了GEM标准的特点。
Ø 预处理性能更好：由于是在经过数次的氮气置换后进行的HMDS处理，所以不会在有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。
Ø 处理更加均匀：由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。
Ø 效率高：液态涂布是单片操作，而本系统一次可以处理多达8盒（4寸）的晶片。
Ø 更加节省药液：实践证明，用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多。
Ø 更加环保和安全：HMDS是有毒化学药品，人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整个过程在密闭的环境下完成的，所以不会有人接触到药液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机，所以也不会对环境造成污染。
Ø 低液位报警装置：当HMDS液位过低时自动发出报警；HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。
Ø 自动吸取HMDS：智能型的程式设定，一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。
Ø 可自动添加HMDS：将HMDS药液添加至设备自带储液瓶中，无需人工添加，提高生产效率，并有效地避免了人员与药液的接触。
Ø HMDS药液泄漏报警：烤箱安装有HMDS药液泄漏检测系统，检测到HMDS有害气体时设备自动报警。
Ø HMDS气体管路加热系统：HMDS气体管路采用316科研专用不锈钢制作，加热其气体管路系统使HMDS液体更有效转化为气体，从而得到更加均匀的涂布效果。
Ø 参数记录功能：可安装数字式温度、压力记录仪，实时监控并记录烤箱内温度及真空度的变化情况。以便于后期参考，选择制造工艺。
Ø 温度与程序互锁功能：当箱体内部温度未达到设定值时，涂布程序无法运行。防止误操作损坏产品。
三、SECS/GEM通讯HMDS镀膜机预处理的必要性
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
四、SECS/GEM通讯HMDS镀膜机常用规格
容积 | 型号 | 控温范围 | 电源电压 | 内胆尺寸（mm） |
40L | JS-HMDS40-AI | RT-250℃ | 220V/50Hz | W350*D350*H350 |
90L | JS-HMDS90-AI | RT-250℃ | 220V/50Hz | W450*D450*H450 |
200L | JS-HMDS210-AI | RT-250℃ | 380V/50Hz | W600*D600*H600 |
500L | JS-HMDS500-AI | RT-250℃ | 380V/50Hz | W800*D800*H800 |
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