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上海隽思实验仪器有限公司
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抗粘剂蒸镀机，抗粘层镀膜机的应用：纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术，其能够把纳米图形从模板“复制"到基片上，具有产量高、成本低和工艺简单的优点
抗粘剂蒸镀机，抗粘层镀膜机的应用：
纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术，其能够把纳米图形从模板“复制"到基片上，具有产量高、成本低和工艺简单的优点。为实现一些特殊形状的压印，需要提供一种具有纳米结构的弹性模板。 为了制作纳米压印弹性模板，一般是提供一具有纳米压印结构的母板，继而将纳米压印胶均匀地涂覆到沉积了抗粘层的母板上，然后再在纳米压印胶层远离母板的一侧涂覆形成有一弹性支撑层，在弹性支撑层固化后，将弹性支撑层与母板分开。
在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏层，抗黏层一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。然而抗粘剂的蒸镀，尤为重要。
抗粘剂蒸镀机，抗粘层镀膜机技术性能：
腔体尺寸：350×350×350、450×450×450、600×600×600（mm）可自定
材质： 316L科研级不锈钢
温度范围：80-250℃
温度分辨率： 0.1℃
温度波动度： ≤±0.5
真空度：≥1torr
真空泵：干泵
电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ ， 2.5KW
控制方式：人机界面+PLC智能
辅助气体： 氮气（N₂）
抗粘剂：一路或2路
镀膜方法：气相成底膜
抗粘剂蒸镀机，抗粘层镀膜机的特点：
镀膜处理更加均匀；
时间短，效率高；
更加节省抗粘剂；
更加环保和安全；
自动吸取抗粘剂。
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