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G30HD激光干涉仪

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更新时间：2023-02-07 08:53:45浏览次数：557次

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上海乾曜光学科技有限公司

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产品简介

30mm高分辨率激光干涉仪（型号G30HD）为多摄像孔检测而定制，具备大视场、高分辨率的性能。可以同时完成双孔、三孔或四孔的透过波前检测

详细介绍

一、仪器规格参数

30mm高分辨率激光干涉仪（型号G30HD）为多摄像孔检测而定制，具备大视场、高分辨率的性能。可以同时完成双孔、三孔或四孔的透过波前检测。

仪器规格参数表

硬件部分：

软件部分：

软件名称	移相算法（简称PH）
分析项目	透过波前PV值、power值、平行度Tilt值、ttv值、条纹数等
测试重复性	PV：0.01λ RMS:0.003λ
测试允许误差	PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹） 1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹）
测试时间	1.5秒

二、仪器特点

1、可同步测量四摄像孔

双摄、三摄甚至四摄逐渐成为手机摄像的标配，传统的小视场干涉仪每次只能测量一个摄像孔，效率低下；而大视场干涉仪虽然可以显示多个摄像孔，但分辨率不足，不能胜任大像差摄像孔的测量。

G30HD便针对该特殊需求而设计，可以同时满足最多四摄像孔的同步测量。

仪器可同步测量四摄像孔的PV、power、条纹数等数值，并同步给出OK/NG的总体评价：

2、可满足大像差摄像孔的测量

在具备大视场的同时，仪器具备足够高的分辨率。下表为G30HD与G10可准确测量的像差对比：