产品简介
NCS-R80 无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的专业仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM（美国材料实验协会）和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
特征
■无接触无损伤测量
■电阻率和厚度同时测量
■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料
■电脑触摸屏显示
■抗干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
技术指标
■测试尺寸：50mm- 300mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■厚度测试精度：+/-0.25um
■厚度重复性精度：0.050um
■厚度重复性精度：0.050um
■TTV 测试精度: +/-0.05um
■TTV重复性精度: 0.050um
■TTV重复性精度: 0.050um
■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■电阻率测试精度：+/- 2%
■电阻率测试精度：+/- 2%
■电阻率测量重复精度：+/- 1%
■晶圆硅片导电型号：P 或 N型
■材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料
■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口
■硅片安装：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带
■连续5点测量
应用范围
>切片
>>线锯设置
>>>厚度
>>>总厚度变化TTV
>>>电阻率
>>监测
>>>导线槽
>>>刀片更换
>磨片/刻蚀和抛光
>>过程监控
>>厚度
>>总厚度变化TTV
>>材料去除率
> 研磨
>>材料去除率
> zui终检测
>> 抽检或全检
>>终检厚度
>>终检电阻率
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