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北京镭测科技有限公司
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光刻机专用双频激光干涉仪可构建XY位移台等多轴测量系统采用直接输出线偏振光、大功率、大频差双频激光器无圆偏振光转线偏振光非线性误差大功率可同时测量更多数量的轴向位移大频差，测量速度更快
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺"项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更精准；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
型号 | 频差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 稳频精度(ppm) |
LH1000A | 1.0±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.0±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.0±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.0±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.0±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.0±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.0±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.0±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.0±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
注：可根据需求定制更小频差范围。
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
LH1000双频激光干涉仪应用于尼康光刻机后，其工作台精度由原来的23nm提高到6nm！
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