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苏州尼米兹真空设备有限公司
苏州尼米兹真空设备有限公司
德国CuttingEdgeCoatingsGmbH（简称CEC）成立于2007年是汉诺威激光中心的衍生公司之一，公司致力于离子束溅射镀膜设备的研发，生产和工艺开发
Navigator 1100生产型型离子束镀膜系统主要特点如下：
· 主离子源：射频耦合（频率：2MHz), 无灯丝, 钛材质三栅级，
Ø 15cm, 离子束流：≥ 500mA离子能量：1-2keV，氩气/氙气或氧气
· 辅助离子源：射频耦合，无灯丝, 钛材质三栅级, Ø 10cm
离子束流：0 - 200mA，离子能量：100eV-1000eV, 氩气或氧气
· 中和器：射频耦合，无灯丝, 电流900mA
· 靶材：具有两个面，每一个面可以安装两种不同的靶材
· 在直径400mm范围内镀膜均匀性≤1%，无掩模
· 单基片旋转工件架，旋转速度：0-120转/分 可调
· 石英晶振膜厚控制仪和可见光/红外/深紫外波段光控可选
· 触摸屏人机界面，全自动镀膜控制系统
· 可选项：进样室，基片加热或水冷，双基片工件架等
离子源图片：
设备照片：
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