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成都汉普升科技有限公司
产地 | 国产 |
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成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制
●致力于电真空、核级装备、人工晶体材料及薄膜制备设备的技术提升,在服务领域深耕细作,具有较深的技术沉积。
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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。
●说明:根据用户要求,公司愿与客户联合研发,共享知识产权,公司致力于工艺与设备匹配。
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