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  • 化学气相沉积(PECVD)

    是一种在沉积腔室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法

    型号: PECVD-601... 所在地:北京市参考价: ¥10更新时间:2025/4/28 8:41:28 对比
    PECVD气相沉积

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