行业产品

  • 行业产品

北京中科复华科技有限公司


紫外光刻机

返回列表页
参  考  价:200 - 280 /件
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号

    ABM/6/350/NUV/DCCD/SA

  • 品牌

    其他品牌

  • 厂商性质

    生产商

  • 所在地

    北京市

更新时间:2024-04-09 09:44:01浏览次数:74次

联系我时,请告知来自 环保在线

经营模式:生产厂家

商铺产品:12条

所在地区:北京北京市

联系人:陈经理 (销售经理)

产品简介
产地 进口    

截止到2008年1月,ABM公司在世界范围售出了500多台光刻机,50多台单独曝光系统。客户包括美国NSA和INTEL、哈佛大学、LG、菲利普、惠普、3M等,ABM在中国各地也拥有不同领域的客户,包括众多的工厂、大学和研究所等。

详细介绍

主要配置:

6“,8"光源系统
可支持2“,3",4“,6",8“(圆/方片)及碎片光刻
手动系统,半自动系统
支持电源350-2000 Watt
支持深紫外近紫外波长(可选项)
支持背后对准及MEMS工艺要求
CCD或显微镜对准系统


主要性能指标:
光强均匀性Beam Uniformity::
--<±1% over 2" 区域
--<±2% over 4" 区域
   --<±3% over 6" 区域

接触式样曝光特征尺寸CD(近紫外NUV):0.5 um
接触式样曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um
支持接近式曝光,特征尺寸CD:
--0.8um 硬接触
--1um 20um 间距时
--2um 50um 间距时
正面对准精度 ± 0.5um
背面对准精度±1um--±2um(Depends on user)
支持正胶、负胶及Su8胶等的厚胶光刻,特征尺寸:100um-300um
支持LED优异电流控制技术PSS工艺光刻
支持真空、接近式、接触式曝光
支持恒定光强或恒定功率模式

关键词:显微镜

感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

环保在线 设计制作,未经允许翻录必究 .      Copyright(C) 2021 https://www.hbzhan.com,All rights reserved.

以上信息由企业自行提供,信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责,环保在线对此不承担任何保证责任。 温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

登录 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我们将在第一时间回复您~