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北京中科复华科技有限公司


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热阻/电子束蒸发镀膜机设备

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参  考  价:10 - 280 /台
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号

    MEB-600/800

  • 品牌

    其他品牌

  • 厂商性质

    生产商

  • 所在地

    北京市

更新时间:2024-04-09 10:05:51浏览次数:73次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:12条

所在地区:北京北京市

联系人:陈经理 (销售经理)

产品简介
产地 国产    

电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用

详细介绍

应用方向:科研与教学

产品优势:多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控

产品配置:

样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)

蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。

蒸发腔体:高真空系统。

蒸发不均匀性:≤±3%-±5%

工件架:可旋转,转速可调

加热:常规加热

电子枪:E型,带XY偏转扫描

电子枪坩埚:6穴,17cc

膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测与终点控制

清洗功能:可选配离子源清洗

器件一次成型复合实验系统:通过复合mask系统与样品对准系统,一次完成器件的多个工艺步骤

检测与控制光学特性功能:可选配光控仪

操作模式:全自动+半自动控制

类似产品: 大样片蒸发镀膜(MEB-800)



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