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北京中科复华科技有限公司
产地 | 国产 |
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电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用
应用方向:科研与教学
产品优势:多功能,电子枪+热阻蒸发,膜厚监控
产品配置:
★样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)
★蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体:高真空系统。
★蒸发不均匀性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋转,转速可调
★加热:常规加热
★电子枪:E型,带XY偏转扫描
★电子枪坩埚:6穴,17cc
★膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能:可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统:通过复合mask系统与样品对准系统,一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性功能:可选配光控仪
★操作模式:全自动+半自动控制
类似产品: 大样片蒸发镀膜(MEB-800)
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