超声波物联传感器#农业效率《气象支持》

　　超声波物联传感器#农业效率《气象支持》초음파물연센서 #농업효율<기상지원>气象传感器在天气预报、高速公路、船舶航行、机场、军事等方面有巨大需求，其核心技术长期被国外垄断，严重制约了我国气象传感器及其相关行业的发展，因此，必须解决关键技术难题：

　　复杂性，气象传感器涉及气压、风速风向、湿度等多种敏感原理，面临复杂的设计、制造、封装等问题;

　　可靠性，气象传感器需要长期在野外工作，面临灰尘、腐蚀等恶劣环境下工作的可靠性问题。

　　在国家自然科学基金、国家863计划等支持下，本项目系统地开展了气象传感器设计理论、关键技术研究，较好解决了上述技术难题，并成功应用于气象传感器及其系统研制和批量生产中。

　　主要创新如下：

　　1. 在国际上研究并提出了基于面积变化和介电伸缩效应的MEMS电容式气压传感器结构，保证了传感器输出的线性度;了二氧化硅介电伸缩系数的悬臂梁测试结构，获取了介电伸缩系数基础数据;提出了带微孔滤膜的电容式气压传感器封装方法，提高了传感器环境适应性。

　　2. 了JD-WQX5风速风向传感器的测温方法和深槽隔热结构，提出了风速风向传感器的温度自平衡测控方法，解决了长期以来风速风向传感器量程难以提高的技术难题;了风速风向传感器的陶瓷圆片级封装技术，保障了传感器工作的可靠性。

　　3. 了JD-WQX5湿度传感器片上集成多晶硅加热电阻结构，缩短了湿度传感器的脱附时间;了氮化硅包覆铝电极的结构，有效防止了聚酰亚胺吸水而腐蚀铝电极，突破了湿度传感器长期工作稳定性的技术瓶颈。

　　4. 建立了JD-WQX5器件-封装结构温度效应模型，提出了微悬臂梁接触长度的测量结构，了微悬臂梁疲劳特性的测量方法，实现了MEMS结构与器件的温度、湿度、振动可靠性测试和评估。

　　5. 了前向散射式能见度检测器大气散射信号测量技术，开发了前向散射式能见度检测器系统。

　　获中国授权43项;制订国家行业标准1项;出版英文丛书1章;发表论文138篇(SCI 26篇、EI 138篇)、SCI他引152次;在国内会议大会报告2次、在国外会议邀请报告2次。