真空烧结炉使用中的应急处理方法及如何使用

2024年02月26日 09:56:37人气：377来源：河南酷斯特仪器科技有限公司

　　真空烧结炉，真空碳管炉，真空电阻炉，真空热压炉，真空钨丝炉真空钼丝炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。

　　真空烧结炉的紧急情况应急处理办法

　　● 冷却水异常：

　　1、确认加热电源已停止。

　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

　　●压缩空气的停止：

　　1、压缩空气异常***时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。

　　2、真空中如压缩空气异常***，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。

　　● 突然停电：

　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。

　　● 加热电源掉电：

　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表***。

　　2、接地故障。

　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。

　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

　　充气气体(氩气或氮气)停止：

　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。

　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

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