如何选择适合的真空系统

    选择一套适合自己的真空系统，往往事半功倍，特别是一开始设计时，就应该考虑到几个关键的参数，东山真空根据多年实践，就设计，选择真空系统主意的问题和大家分享一下：

    1）使真空室（或被抽器件）中能获得所需的极限真空度和工作真空度。极限真空度是由真空泵长期抽气后真空室（或被抽器件）所能达到的真空度；工作真空度是指在排气过程中真空室（或被抽器件）所能维持的真空度。由于在排气过程中，真空室（或被抽器件）往往需要进行某些处理（如加热、电子轰击等），因而会产生大量气体，故工作真空度一般低于极限真空度。例如真空镀膜机在开始蒸气镀膜时会放出大量气体，此时真空室（钟罩）内的真空度称为工作真空度。又如真空退火炉在升温过程中，因零件大量放气，此时的真空度称之为工作真空度。再如真空电子器件在烘烤排气过程中的真空度也称为工作真空度。当烘烤结束，器件内真空度基本维持不变，此时的真空度称之为极限真空度。为满足工作真空度和极限真空度，应选择相应的真空泵，一般所选真空泵的极限真空度要高于真空室（或被抽器件）要求的极限真空度。

    2）使真空室（或被抽器件）获得所需的抽速。抽速的大小决定了达到工作真空度、极限真空度所需的时间，提高抽速可缩短排气时间从而提高劳动生产效率。抽速的大小还可根据被抽容器的体积大小以及放气（漏气）的大小而定。对于大的真空室如宇航模拟装置、原子能实验装置，以及虽真空室小但放气、漏气严重的装置都应采用大抽速的泵。

    3）被抽真空室（或工作室）中有合适的残气成分。单纯保证工作真空度和极限真空度只反映了系统中的总压强，还不能*保证某些特殊要求，还应对残余气体成分有一定的要求。例如在有氧化物阴极的器件中，残气中不应含有cl,s 或其化合物。

    4）真空系统结构简单牢固，操作维护方便，耗电、耗水少，噪音低，无污染，价格便宜等。

    为满足上述要求，必须从实用出发，综合考虑各种因素，合理选用真空泵、真空计、真空阀门及真空管道。如某些被抽容器本身有油污染源，因此选用真空泵就没有必要选无油真空泵。如某些真空电子器件只需达到10-4帕的高真空，因而只要选用油扩散泵或钛升华泵作为主泵，普通电离真空计做为测量真空用，若选用溅射离子泵和超高真空电离计就显得大材小用了。反之，如果需要超高真空的系统，而选用只能获得高真空的泵和真空计，那么就力不从心了。