CSH-275-1-W美国Nor-Cal晶体传感器主要特性

美国Nor-Cal Products提供广泛的常用石英通孔，传感器和多通道监视器，电缆，石英晶体，附件和可替换部件，供半导体，光学和工业热沉积工艺中使用。定制馈通可提供各种尺寸的各种法兰。我们的涂层仪器产品支持薄膜测量和速率控制的一种较流行的方法-晶体监测器，该方法利用了石英晶体的压电特性。由传感器保持在适当位置的晶体的电学特性会在沉积过程中发生变化。单传感器通常用于短时间的沉积运行，而双传感器则允许更长的运行时间。

CSH-275-1-W美国Nor-Cal晶体传感器主要特性如下：

     1、线性度：指传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程度。定义为在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的大偏差值与满量程输出值之比。
    2、灵敏度：灵敏度是传感器静态特性的一个重要指标。其定义为输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用S表示灵敏度。
    3、迟滞：传感器在输入量由小到大（正行程）及输入量由大到小（反行程）变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象成为迟滞。对于同一大小的输入信号，传感器的正反行程输出信号大小不相等，这个差值称为迟滞差值。
    4、重复性：重复性是指传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时，所得特性曲线不一致的程度。
    5、漂移：传感器的漂移是指在输入量不变的情况下，传感器输出量随着时间变化，此现象称为漂移。产生漂移的原因有两个方面：一是传感器自身结构参数；二是周围环境（如温度、湿度等）。
    6、分辨力：当传感器的输入从非零值缓慢增加时，在超过某一增量后输出发生可观测的变化，这个输入增量称传感器的分辨力，即小输入增量。
    7、阈值：当传感器的输入从零值开始缓慢增加时，在达到某一值后输出发生可观测的变化，这个输入值称传感器的阈值电压。

美国Nor-Cal Products双传感器要求公司操作一个气动百叶窗，该百叶窗一次覆盖一个晶体。传感器可以焊接到穿通孔或通过连接器连接。大多数传感器都带有冷却线。应用程序将确定传感器的正确选择。传感器确定兼容的馈通和电缆。腔室确定合适的馈通孔和法兰。对于高达150°C的应用温度，传感器和馈通之间的电气连接是通过真空同轴电缆完成的。可烘烤的一体式传感器/馈通电缆用不锈钢高温同轴线代替标准真空电缆，适用于高达300°C的高温应用。馈通是传感器和振荡器之间的空气-真空连接。馈通通过短同轴电缆将石英晶体的压电振动传递到振荡器。振荡器调节信号并通过另一根同轴电缆将其传输到监视器。监视器随后测量，解释并显示沉积的厚度，速率和频率。

美国Nor-Cal Products的薄膜沉积监视器多可提供六个独立通道，以同时读取六个单传感器或三个双传感器。每个传感器都需要自己的电缆和振荡器。

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