真空泵工作参数及真空泵如何选型

真空泵工作参数及真空泵如何选型

1、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10 -3 ~10 -7 mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10 -4 ~5×10 -6 mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10 -8 mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10 -2 mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10 -5 mmHg为好。 

2、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10 -5 mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10 -6 mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 

5、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两　　者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。

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