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数字式四探针测试仪/四探针电阻率检测仪/方阻仪
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关 键 词 | 方阻仪,方阻仪,方阻仪,四探针电阻率检测仪,四探针电阻率检测仪 |
- 【资料简介】
数字式四探针测试仪/四探针电阻率检测仪/方阻仪型号:TRST-2253
TRST-2253 型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,它可以测量半导体材料的电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方阻)。换上特制的四探针测试夹具,还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。
仪器由主机、测试探头(可选配测试台)等部分组成,测试结果由主机数码管直接显示。也可连接PC机由配套软件在PC机上操作,其数据可由软件显示、分析、保存和打印!
主机主要由精密恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成,自动转换量程。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
仪器于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别于要求快速测量中低电阻率的场合。
三、基本技术参数
3.1测量范围
电 阻率: 10-4~105Ω-cm
方块电阻: 10-3~106Ω/□
电 阻:10-4~105Ω
3.2可测半导体材料尺寸
直 径: Φ15~100mm, 长(或高)度: ≤400mm
2.3测量方位:
轴向、径向均可
2.4. 4 1/2 位数字电压表:
⑴量程: 200mV
⑵误差:±0.1%读数±2 字
2.5数控恒流源
⑴电流输出:直流电流 0~100mA 连续可调,由交流电源供电。
⑵量程:1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
⑶误差:±0.5%读数±2 字
2.6四探针测试探头
⑴探针间距 1mm
(2)探针压力: 0~2kg 可调,zui大压力约 2kg
(3)探针:碳化钨,Φ0.5mm
2.7.电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
2.8.外形尺寸:
主机 260mm(长)×210 mm(宽)×125mm(高)半导体电阻率测试仪/四探针电阻率测试仪/四探针电阻率分析仪 型号: TDW-6
TDW-6型半导体电阻率测试仪是于各种半导体材料包括:片状硅料、晶体、晶体等的电阻率测定的设备,测定范围:0.01-199.99欧姆厘米,是生产厂家硅料分选测试的理想工具。
1、 主要技术指标:
电源:220V交流
可测晶片直径(zui大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:电流量程为0.01~1mA连续可调,误差≦±0.5%。
数字电压表:量程:0.1~200mV,zui大分辨率:100μV
电阻率显示:三位半数字显示:小数点、性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米
输入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
zui大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。
测量环境:温度23±2℃,相对湿度≤65%
2、操作程序:
1、先连好电源,打开后面板电源开关,电源指示灯亮,表示待机完毕。
2、校准设备:根据国标电流修正系数表通过厚度调节电流来校准仪器,或通过:厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪,测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪
3、测试:用四探针接触硅材料,以探针压下三分之二为准,待仪器显示数字稳定即可,
4校验:在测试过程中要求2小时用标准样块校准一次设备,
3、 针组件;维护及注意事项:
1、一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的更换和针头 的 清理清洁工作
2、维护后的安装及维护过程中,必须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑(1234)位置排列。
公司名称:北京同德创业科技有限公司
联 系 人:苏
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: 2495283342
地 址:北京市通州区新华北街117号
网 站:www.5117sel.com
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