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材质 | 不锈钢 | 工作室尺寸 | 450mm |
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功率 | 3 | 加工定制 | 是 |
类型 | 真空 | 适用范围 | HMDS蒸镀 |
温度范围 | 250℃ |
HMDS 烘箱原理
HMDS 烘箱也称为HMDS预处理系统,HMDS蒸镀机等,是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到(120-150°C),在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合,使这样的衬底表面具有疏水性。
HMDS 烘箱技术指标
温度范围:RT+10-250℃
真空度:≤133pa(1torr)
控制仪表:人机界面,一键运行
HMDS控制:可设定
HMDS工艺:进入腔体到尾气排出*密闭,无任何泄漏
安全检测:在线检测,HMDS泄漏警 报提示
储液瓶:HMDS储液瓶
真空泵:无油涡旋真空泵
规格尺寸(mm):300*300*300/450*450*450、定制
数据记录:开机、待机、升温、压力等数据记录
功能:脱水烘烤、增粘剂蒸镀、后烘
用途 :将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘烘箱,HMDS烘箱,硅烷蒸镀机,无尘无氧烘箱,氮气烘箱,真空热风一体烘箱,超低温试验箱,快温变试验箱,恒温恒湿试验箱,高低温冲击试验箱等设备,以及非标定制。---上海隽思仪器专业生产/服务!
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