当前位置:上海隽思实验仪器有限公司>>半导体烘烤设备>>洁净烘箱>> 六箱体氮气烘箱,多仓式洁净烘箱
材质 | 不锈钢 | 工作室尺寸 | 500-2000mm |
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功率 | 4000 | 加工定制 | 是 |
类型 | 恒温 | 适用范围 | 太阳能、半导体、集成电路 |
温度范围 | 50-500℃ | 重量 | 390kg |
六箱体氮气烘箱,多仓式洁净烘箱简介:
洁净烘箱用于光刻胶固化、坚膜烘烤、治具干燥、芯片封装、碳化硅衬底生产、外延片烘烤、墨点烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.广泛用于电子、电机、通讯、电镀、塑料、橡胶、五金、化工、印刷、喷涂、玻璃、陶瓷等的高温烘烤、高温去应力、老化、烘干、定型、加工、热处理等。
六箱体氮气烘箱,多仓式洁净烘箱性能:
工作室尺寸:W350×D350×H350mm,W500×D500×H550mm,
1-12寸兼容,可定制
工作室:1-8腔可选
材质:外箱采用优质冷轧板喷塑或不锈钢,内箱采用SUS304
或316不锈钢
温度范围:RT+20-200/300/400/500℃
洁净度: class 1000-100,
控温方式:定值或程序
氮气控制: 氮气流量计可调
计时:0-99H99M
送风方式:内置强制送风循环,耐高温长轴马达,涡轮风
扇。
加热控制:电流控制器为采用固态继电器(SSR)无接点无火花现象出现,安全又保持电流的高稳定性,通过温控器 信号自动调节输出比例。
超高温保护:当箱内温升异常时,自动切断整机电源。
马达过热保护:防止电机过热造成电机损伤。
相序保护:防止电力缺相和相序错误,保证电机的安全。
多仓式洁净烘箱选配功能:
辅助降温:水冷、风冷降温
操作界面:人机界面+PLC,工控电脑
录入信息:扫码枪
监测功能:氧含量分析仪等
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