设备特点
此款CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1500度高温管式炉组成。其广
泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
加热区参数：
| 炉管尺寸：Φ 50×700mm 加热元件：硅碳棒 加热区长度：160mm 推荐升温速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min 额定功率：2.5KW 外型尺寸： 420×295×520 mm 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头） 端口可按实际使用扩展。 标准配件：刚玉管1根，不锈钢密封法兰1套，氟胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。 备注：可选配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同温区的管式炉。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa Z大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国产油泵型号：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源：220v 50hz 电机功率：0.4kw 进排气连接口：KF25 用油量：1.1L 电机转速：1440rpm 工作环境温度：5-40℃ 噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配用规管：ZJ-52T电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
