设备特点
此款CVD系统是由1200℃开启式迷你真空管式炉、气路系统和低真空机组组成。其特点是炉体小巧（净重只有18Kg），升温速度极快（Z快可达到100℃/分钟），它不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便、操作简捷、使用者可直接将密封腔体移出炉体，加快降温过程，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。
加热区参数
| 炉管尺寸：外径Φ25/50*600mm (管径可选) 加热元件:电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 恒温区长度: 80mm 工作温度：1100℃ 推荐升温速度：20℃/min Z快升温速度：≤100℃/min 炉门结构：开启式 额定功率：2KW 外型尺寸：350×290×345 mm 标准配件：石英管1根，不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头） 端口可按实际使用扩展。 |
气路系统参数
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa Z大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数
| 国产油泵型号：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源：220v 50hz 电机功率：0.4kw 进排气连接口：KF25 用油量：1.1L 电机转速：1440rpm 工作环境温度：5-40℃ 噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配用规管：ZJ-52T电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
