主要特点
该设备是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导
体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
加热区参数
| Z高温度：1200℃ 工作温度：1100℃ Z大升降温速率：≤30℃/min 控温精度:±1℃ 推荐升温速度：15℃/min 炉管尺寸：高纯度石英管Φx1000mm (管径可选) 加热区长度：440mm 恒温区长度：230mm 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支； 尺寸：约 590×380×500 mm（炉子） 工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 额定功率：3kw 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。 |
气路系统参数
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa Z大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数
| 国产油泵型号：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源：220v 50hz 电机功率：0.4kw 进排气连接口：KF25 用油量：1.1L 电机转速：1440rpm 工作环境温度：5-40℃ 噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配用规管：ZJ-52T电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
高真空系统参数
| 空气相对湿度：≤85% 工作电压：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 机械泵: 抽气速率：10m³/h 容油量：1.1L 电机功率：0.4KW 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气速率：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 启动时间：＜2min 额定转速：4300转/分 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。 分子泵控制器: 电压：220V±22V 启动电流：≤7A 输入频率：47HZ—63HZ Z大输出功率：≤150W Z大加速电压：≤40V 加速时间：≤3min 频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 复合真空计: 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路） 工作模式：手动/自动 电阻单元参数 规管型号：ZJ-52T电阻规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元参数 规管型号：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气方式：焦耳去气 其他参数 控制路数：4路 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆 控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85% 连接管路:采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s |
备注： |
根据工艺要求可选配低真空或高真空系统。
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