设备特点
此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器，辅助二维材料蒸发，后端为双温区管式炉，温度控制精确，操作简便。并配质量流量计系统和真空系统，可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量，对于做低压CVD实验非常实用，重复性好。
硫粉预热器 | 工作温度：400℃ Z高温度：1200℃ Z快升温速率：≤30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制 工作电压：AC220V 额定功率：800W 控温精度：±1℃ 加热元件：电阻丝 |
加热区参数
| 额定功率：5kw Z高温度：1200℃ 工作温度：1100℃ Z大升降温速率：≤30℃/min 炉管尺寸：高纯度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm (管径可选) 加热区长度：200+200mm 恒温区长度：290mm 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支； 尺寸：约 550×380×600 mm（炉子） 约：1700×380×620 mm（炉子+滑轨） 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。 |
气路系统参数
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa Z大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数
| 国产油泵型号：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源：220v 50hz 电机功率：0.4kw 进排气连接口：KF25 用油量：1.1L 电机转速：1440rpm 工作环境温度：5-40℃ 噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配用规管：ZJ-52T电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
使用注意事项
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