产品简介:
EVG ComBond是一款自动的高真空晶圆键合系统,应用领域包括功率器件、MEMS封装、高性能逻辑、超越CMOS器件、工程基板和叠层太阳能电池等领域中几乎所有材料的共价键合。
主要特点及参数:
·支持8英寸(200mm)晶圆
·最多兼容3-6个工艺模块
·高真空环境下的共价键合
·真空度:5*10-8mbar(加工)
·可通过手动、cassette或EFEM上料
产品简介:
EVG ComBond是一款自动的高真空晶圆键合系统,应用领域包括功率器件、MEMS封装、高性能逻辑、超越CMOS器件、工程基板和叠层太阳能电池等领域中几乎所有材料的共价键合。
主要特点及参数:
·支持8英寸(200mm)晶圆
·最多兼容3-6个工艺模块
·高真空环境下的共价键合
·真空度:5*10-8mbar(加工)
·可通过手动、cassette或EFEM上料
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