SRS斯坦福PPR系列过程监测系统 SRS斯坦福PPR系列过程监测系统PPR过程监控系统是为内联过程监控和诊断而设计的。为残余气体分析仪（RGA）提供了两条路径：用于监测基本真空的高导电性路径，以及在工作压力下监测过程的减压路径。减压路径包含一个微型孔口，它被设计为在下列压力之一下运行：0.01、0.1、1或10 Torr。它将样本压力降低到RGA的工作压力（大约10-6 Torr）。这种压力下降是由一个混合涡轮泵和一个隔膜泵组成的抽油系统来维持的。这两个泵都是无油的，不会污染你的过程。连接到你的过程室的进口总成可以通过多种方式配置（见图）。该系统包括一个RGA、旁路阀总成和Tee、一个控制器、涡轮泵、隔膜泵和用于数据采集和控制的Windows软件程序。该软件用于各种模式的操作，包括模拟扫描、直方图模式、压力与时间模式。法拉第杯和电子倍增探测器都是PPR系统的标准。电子倍增器提供额外的灵敏度和更高的扫描速度。PPR系统被*组装和校准，并准备好连接到你的真空处理室。
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