SRS斯坦福UGAPM系列多达300个amu气体分析仪 SRS斯坦福UGAPM系列多达300个amu气体分析仪 UGAPM系列过程监测系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。他们的操作从20 Torr到1 mTorr。该进口连续以低流速（约5x10-5 mbar/秒）的气体采样，使该仪器成为在线分析的理想设备。UGAPM系列过程监测系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。他们的操作从20 Torr到1 mTorr。该进口连续以低流速（约5x10-5 mbar/秒）的气体采样，使该仪器成为在线分析的理想设备。UGAPM的应用包括cvd/pecd/rie/lpcvd，真空镀膜/等离子腐蚀，蒸发，溅射沉积，真空热处理，目标燃烧，泄漏检测/虚拟泄漏/解吸，污染研究，小体积分析（0.1 mL范围）等。这些分析仪也很容易操作和维护。所有的组件都可以从前端面板或远程计算机控制。在UGAPM系统中，采用1/16或1/8 OD的SS毛细管来适应中间真空取样。有了这个配置，进程腔和分析器之间几乎没有死容量
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