SRS斯坦福CLS顺式离子源分析仪 SRS斯坦福CLS顺式离子源分析仪如果有超过1 ppm的检测限制，在mTorr压力下直接取样，以及一个用户友好的Windows软件包，CIS系统将满足您苛刻的应用程序。在线过程监测和控制，在使用时对工艺气体纯度的验证，高真空剩余气体分析，以及工艺设备泄漏检查，是这些系统*的部分。如果有超过1 ppm的检测限制，在mTorr压力下直接取样，以及一个用户友好的Windows软件包，CIS系统将满足您苛刻的应用程序。在线过程监测和控制，在使用时对工艺气体纯度进行验证，高真空残余气体分析，以及工艺设备泄漏检查，是这些系统*的部分。SRS斯坦福CLS顺式离子源分析仪
紧凑的设计SRS斯坦福CLS顺式离子源分析仪
该探测器由一个四极质谱仪组成，它带有一个CIS离子发生器，安装在2。75英寸的“con平坦”t恤内。控制单元直接安装在探测器的费用上
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