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  • 反应离子刻蚀机(RIE)

    反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的,利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀,即是利用离...

    型号: DISC-RIE-... 所在地:北京市参考价: ¥10更新时间:2025/4/25 17:04:46 对比
    等离子刻蚀反应离子刻蚀RIE

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