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  • 感应耦合等离子体刻蚀机(ICP)

    感应耦合等离子体刻蚀系统利用射频天线,通过感应耦合方式在放电腔中产生高密度等离子体,同时刻蚀工作台引入射频偏压,射频偏压作用下,等离子体中垂直向下对被刻蚀材料表...

    型号: DISC-ICP-... 所在地:北京市参考价: ¥10更新时间:2025/4/25 17:05:10 对比
    感应耦合等离子刻蚀等离子刻蚀ICP

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