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北京中科复华科技有限公司


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离子束刻蚀机(IBE)

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参  考  价:10 - 280 /台
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号

    DISC-IBE-150C/200C

  • 品牌

    其他品牌

  • 厂商性质

    生产商

  • 所在地

    北京市

更新时间:2024-04-09 09:59:40浏览次数:109次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:12条

所在地区:北京北京市

联系人:陈经理 (销售经理)

产品简介
产地 国产    

IBE刻蚀机采用离子束刻蚀技术,其原理基于离子和固体表面的相互作用。具体而言,离子束通过控制系统加速并聚焦,然后瞄准待刻蚀的样品表面。离子束在与样品表面相撞时,会发生多种相互作用,包括散射、表面反射、电子激发和离子抑制等。其中,离子抑制是IBE刻蚀机的核心原理

详细介绍

应用方向:科研与教学

产品优势:负角度刻蚀降低反污染,热态、冷态两种中和系统,刻蚀腔体前后开门

产品配置:

★离子源种类:考夫曼离子源

★离子源口径:Φ160mm/220mm

★中和方式:灯丝、冷态等离子体桥

★样片数量及尺寸:1片Φ100mm/150mm样品

★刻蚀材料:包括并不限于硅、石英、Ⅲ-Ⅴ族化合物、合金、陶瓷等。

★刻蚀腔体:高真空系统

★刻蚀不均匀性:±3%-±6%

★刻蚀速率:10-500nm/min(视具体材料与工艺)

★工作台:可旋转,可自传,可调距离,包含水冷

★工艺气路:1-2路

★束流检测:法拉第筒在线检测

★终点检测控制:可选配质谱仪

★操作模式:全自动+半自动控制

选型参考:DISC-IBE-150C(离子源口径160mm);DISC-IBE-200C(离子源口径220mm)


关键词:工作台 质谱仪

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