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广电计量检测集团股份有限公司

CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统

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  • 公司名称亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/6/30 8:41:30
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亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、*封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。  目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供*的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。   亚科电子目前客户遍及国内所有科研院所、高校和研发制造企业,已成功地服等各研究所;清华大学、北京大学、复旦大学等各大高校;三安集成、华润微电子等多个制造企业。   亚科电子历年来秉承“专业服务,全面服务”的宗旨,为客户提供整套技术工艺和设备方案。通过专业的技术服务,实现了真正意义上的交钥匙工程。高性能的设备和专业的技术服务是我们成功的基石,亚科电子期待与更多国内外客户的合作。
表面处理仪 X射线衍射仪
CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统
CentroTherm HORICOO300卧式热反应系统 产品信息
【产品简介】
 
centrotherm c.HORICOO 300卧式批处理系统是世界上首先用于*的高产能的 300 mm晶圆加工平台。 设备平台由两个各含4层炉管的系统及一个自动化装置装载系统组成。加热系统包括5个双区加热单元,提供centrotherm出众的温度均匀性以及理想稳定的工艺。 centrotherm Hydrox系统同时支持干氧及湿氧工艺。支持高达1200°C高温工艺,其氧化和Drive-in工艺可促进研发更具有低界面陷阱密度(Dit)和高沟道迁移率的氧化物层。
 
【适用工艺】
 
·退火
·扩散
·氧化
·LPCVD
·PECVD
 
15168338725
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