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HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂胶前对硅片表面进行处理,可以增加硅片表面水分子的接触角,使衬底表面从亲水性转化为疏水性
HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱适用行业:MEMS、太阳能、电池片、滤波、放大、功率等器件,晶圆、玻璃、贵金属,SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO...
HMDS预处理系统报价它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的作用是匀胶前衬底“增附"处理。在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶...
HMDS预处理系统降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等...
智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵密封设计(电机和所有轴承与真空环路*隔开)延长了轴承的使用寿命, 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀...
HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在箱内先经过100℃-200℃的去水烘烤,再进行H...
智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅...
HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,增加了...
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