电子无尘烤箱，电子洁净烘箱 工业烘箱 返回列表页

电子无尘烤箱，电子洁净烘箱的应用：

  晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要，且需要多次烘烤。

电子无尘烤箱，电子洁净烘箱的组成：

烘烤工作室：需烘烤的产品放置区；

洁净室：高效过滤器净化工作室内空气，达到class100洁净度；

控制部分：温度、时间、记录、温度检测、烤箱开关等操作区；

电器箱：无尘烤箱电器部分，电子元件等安装区；

其他：氮气接口，排风阀门，扫码枪等。

电子无尘烤箱技术性能：

温度范围：RT+10～200、300/450℃；

升温速率：≥5℃/min（可定制）；
温度均匀度：±1.5%℃;    

温度波动度：±0.5；        
温控精度：0.1℃;

时间设定范围：0.1S-9999H；

内腔数量：单腔，上下层双腔体，四腔体等；

腔内分层：2层或多层

内箱材料:SUS304镜面不锈钢制作；

外箱材料：优质冷轧板喷塑或#304镜面不锈钢制作；

密封材料：密封条采用硅胶胶条制作，可耐温不变形，；

保温材料；阻燃陶瓷纤维。

外壳温度：在 200℃以内，不高于室温+15℃，门周边接接缝处除外。